Waihona
Loaʻa nā ʻike a wikiwiki i ke kaʻina hana hoʻomohala.
Hāʻawi ʻo Advanced Energy i ka lako mana a me ka hoʻonā mana no nā noi hoʻopaʻa kiʻi ʻoniʻoni koʻikoʻi a me nā geometries hāmeʻa.No ka hoʻoponopono ʻana i nā luʻina hana wafer, ʻae kā mākou ʻōnaehana hoʻololi mana pololei iā ʻoe e koho i ka pololei o ka mana, ka pololei, ka wikiwiki, a me ka hana hou ʻana.
Hāʻawi mākou i kahi ākea ākea o nā alapine RF, nā ʻōnaehana mana DC, nā pae mana hoʻokalakupua, nā ʻenehana hoʻohālikelike, a me nā hāmeʻa nānā ʻana i ka wela optic e hiki ai iā ʻoe ke hoʻomalu maikaʻi i ke kaʻina plasma.Hoʻohui pū mākou i ka Fast DAQ™ a me kā mākou loaʻa ʻikepili a me ka suite hiki ke hāʻawi i ka ʻike kaʻina hana a wikiwiki i ke kaʻina hana.
E aʻo hou aʻe e pili ana i kā mākou hana hana semiconductor e ʻimi i ka hopena e kūpono i kāu mau pono.
ʻO kāu hoʻopaʻapaʻa
Mai nā kiʻiʻoniʻoni i hoʻohana ʻia e hoʻohālikelike i nā ana kaapuni i hoʻohui ʻia i nā kiʻiʻoniʻoni conductive a insulative (nā hale uila), a i nā kiʻiʻoniʻoni metala (interconnection), pono kāu kaʻina hoʻopaʻa ʻana i ka mana atomic-level - ʻaʻole wale no kēlā me kēia hiʻohiʻona akā ma ka wafer holoʻokoʻa.
Ma waho aʻe o ka hale ponoʻī, pono ke ʻano kiʻekiʻe kāu mau kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.Pono lākou e loaʻa i ke ʻano o ka palaoa i makemake ʻia, ka like ʻole, a me ka mānoanoa conformal, a ʻaʻohe mea ʻole - a ʻo ia hoʻi ka hoʻolako ʻana i nā koʻikoʻi mechanical pono (compressive a tensile) a me nā waiwai uila.
Ke hoʻomau wale nei ka paʻakikī.No ka hoʻoponopono ʻana i nā palena lithography (sub-1X nm nodes), pono nā ʻenehana hoʻohālike ʻelua a me quadruple ponoʻī i kāu kaʻina hana e hana a hana hou i ke kumu ma kēlā me kēia wafer.
ʻO kā mākou hopena
Ke kau nei ʻoe i nā noi deposition koʻikoʻi a me nā geometries hāmeʻa, pono ʻoe i kahi alakaʻi mākeke hilinaʻi.
ʻO ka hāʻawi ʻana i ka mana RF o Advanced Energy a me ka ʻenehana hoʻohālikelike kiʻekiʻe e hiki ai iā ʻoe ke hana a hoʻopaʻa pono i ka pololei o ka mana, ka pololei, ka wikiwiki, a me ka hoʻihoʻi hou ʻana o ke kaʻina hana e pono ai no nā kaʻina hana PECVD a me PEALD holomua.
E hoʻohana i kā mākou ʻenehana mīkini hana DC no ka hoʻoponopono ʻana i kāu pane arc configurable, ka pololei o ka mana, ka wikiwiki, a me ke kaʻina hana hou e pono ai ʻo PVD (sputtering) a me nā kaʻina hoʻoheheʻe ECD.
Nā pōmaikaʻi
● Hoʻonui i ka paʻa plasma a me ke kaʻina hana hou e hoʻonui i ka hua
● Hāʻawi pololei ʻo RF a me DC me ka mana kikohoʻe piha e kōkua i ka hoʻoikaika ʻana i ke kaʻina hana
● Pane wikiwiki i nā loli plasma a me ka hoʻokele arc
● ʻO ka pulsing nui-level me ka hoʻopono ʻana i ke alapine kūpono e hoʻomaikaʻi i ka koho etch rate
● Loaʻa ke kākoʻo o ka honua no ka hōʻoia ʻana i ka manawa hana a me ka hana huahana